上海頻標(biāo)科技有限公司
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詳細(xì)摘要： SW系列晶圓對(duì)準(zhǔn)/鍵合/解鍵合設(shè)備可應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、封裝（3D-TSV、WLP）和化合物半導(dǎo)體（LED、RF器件）等。其中，...
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詳細(xì)摘要： 平臺(tái)特性 集成式5 軸平臺(tái)，正交性設(shè)計(jì) 全局平面度、直線度達(dá)微米級(jí) 機(jī)械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用X/Y 軸 無線纜擾動(dòng)力設(shè)計(jì) 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導(dǎo)軌，提供的雙向重...
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ...
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詳細(xì)摘要： 平臺(tái)特性 集成式3 軸平臺(tái)，正交性設(shè)計(jì) 全局平面度、直線度達(dá)微米級(jí)X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無線纜擾動(dòng)力設(shè)計(jì)Z 軸 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)定位精度 ...
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含：雙Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Dz Stage）、單Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Sz Stage）
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含扁平ZT 臺(tái)（MZT-10 Stage）、大行程ZT 臺(tái)（MZT-25 Stage）、高性能ZT 臺(tái)（MZT-24-CRG Stage）
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含：平面集成式XY 臺(tái)（Planar-Series XY Stage）、平面中空式XY 臺(tái)（Planar-Series XY Stage）
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詳細(xì)摘要： 平臺(tái)特性 兩軸360°無限制旋轉(zhuǎn)萬向節(jié)系統(tǒng) 高動(dòng)態(tài)響應(yīng)、非接觸力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng) 高剛度、高精度交叉滾子軸承設(shè)計(jì) 內(nèi)置長壽命的導(dǎo)電滑環(huán)平臺(tái)概要二維精密轉(zhuǎn)臺(tái)采用了大尺寸...
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詳細(xì)摘要： 平臺(tái)特性 高動(dòng)態(tài)響應(yīng)、非接觸直線電機(jī)驅(qū)動(dòng) 高精度的線性光學(xué)編碼器反饋 高剛度、高精度的循環(huán)滾柱導(dǎo)軌設(shè)計(jì) 極為優(yōu)異的定位精度和重復(fù)性表現(xiàn)平臺(tái)概要交叉十字XY 臺(tái)采...
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含氣浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)（ALGZ-60a Stage）、磁浮重力補(bǔ)償垂向臺(tái)（MZ-10 Stage）、重載垂向臺(tái)（MTZ-25 Stage）
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詳細(xì)摘要： 概要：?jiǎn)屋S直線運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用了緊湊扁平的設(shè)計(jì)思想。能實(shí)現(xiàn)水平向高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)。可廣泛應(yīng)用于激光切割、半導(dǎo)體、平板顯示、自動(dòng)化等領(lǐng)域。
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詳細(xì)摘要： 包含機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)（MRDS-180 Stage）、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)（ARDS-180 Stage）
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詳細(xì)摘要： R-301系列作為高精度360 度連續(xù)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，具備優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。R 系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，適用于空間緊湊型應(yīng)用。具備側(cè)向...
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詳細(xì)摘要： V-305 系列是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z 向平臺(tái)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測(cè)和封裝、外形輪廓測(cè)量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因...
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詳細(xì)摘要： 快速、緊湊、高精度 行程達(dá)±17 毫米 / ±21度 負(fù)載容量達(dá)5 公斤 重復(fù)精度達(dá)±0.06 微米 速度達(dá)20 毫米...
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詳細(xì)摘要： 多軸精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于精密測(cè)量，它是集制造、自動(dòng)控制、電子、光學(xué)、圖形圖像及計(jì)算機(jī)技術(shù)為一體的綜合性交叉學(xué)科，于精密加工緊密聯(lián)系在一起。二次元影像測(cè)量儀適用于工...
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詳細(xì)摘要： 包含音圈電機(jī)模組（VCM Module）、盤式電機(jī)模組（AFM Module）、動(dòng)鐵直線電機(jī)模組（MIL Module）
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詳細(xì)摘要： 音圈電機(jī)（Voice Coil Motor）是一種基于洛倫茲原理的直線電機(jī)，具有簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，體積小，加速度高和響應(yīng)快等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于超精密定位系統(tǒng)中，在半導(dǎo)體制...
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